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紅外探測器的主要工藝流程

[2022/3/27]

  對于非制冷紅外探測器來說,傳統(tǒng)的封裝類型主要是芯片級封裝,通常采用金屬或陶瓷管殼。主要工藝流程包括如下步驟:

  1、硅晶圓上制備非制冷紅外探測器的讀出電路及敏感結(jié)構(gòu);

  2、將制備好的晶圓切割成單個探測器芯片;

  3、貼片、打線;

  4、真空封蓋。

  上述3和4是針對單個芯片的。由于一個晶圓上可以切出上百個探測器芯片,因此,這種封裝形式不僅效率低下而且成本高昂。目前,利用傳統(tǒng)封裝類型的非制冷紅外探測器的封裝成本占到了整個探測器成本的90%。

  非制冷紅外探測器的成本居高不下,封裝是個很重要的原因。因此,要實現(xiàn)非制冷紅外探測器的大批量應(yīng)用,必須降低非制冷紅外探測器的成本,首先就必須降低封裝的成本。

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